MKS質量流量控制器

Granville-Phillips®475 Convectron®真空計控制器與行業標準的275系列Convectron®真空計相結合，使用的熱導率變化提供高性能真空壓力測量。Convectron®真空計是對流增強型皮拉尼真空計，具有單獨校準的真空計、溫度補償和對流技術，可在7個十年內從1x10-4 Torr到大氣壓提高精度和可重復的真空測量。這些控制器設計用于275 Convectron®Pirani真空計。Granville-Phillips®Convectron®壓力計已成為世界標準的對流增強皮拉尼壓力計超過35年，并用于數千種真空工藝，以準確測量從大氣壓到10-4 Torr的壓力。

①從1x10-4 Torr到大氣壓的真空壓力測量。

②用于臺式或面板安裝應用的高性能緊湊型控制器。

③I/O選項包括模擬輸出、設定點繼電器和串行通信。

④N2、Ar、He、CO2和O2的預編程氣體曲線。

⑤用于簡化配置和參數設置的直觀菜單控制。

⑥符合RoHS和CE標準。

475系列Convectron控制器是符合RoHS標準的第三代Convectron真空計控制器，它結合了堅固的可靠性和易于使用和系統集成的關鍵特性。它包括多項功能，例如自診斷、集成Convectron真空計模擬和內置氣體曲線，可針對各種真空環境進行調整。475系列易于使用，具有高度可見的真空熒光顯示器(VFD)和直觀的前面板控件，無需特殊工具即可校準真空計和調整真空測量參數。它可以用作基本真空系統控制的簡單讀數裝置，也可以集成到更復雜的控制系統中。475提供一系列控制I/O選項，包括模擬輸出、設定點繼電器和串行通信接口。

①寬測量范圍：真空系統壓力可以從1x10-4 Torr(1x10-4 mbar,1x10-2 Pa)到大氣壓連續監測。

②高測量分辨率：旨在充分利用Convectron Gauge技術，在大氣壓下分辨率為1 Torr（1 mbar，0.1 Pa），在低壓下分辨率為0.1 mTorr（1x10-4 mbar，1x10-2 Pa）。